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等离子增强化学气相沉积&反应离子刻蚀机系统
2017-05-04
紫外光刻机URE-2000A
2017-05-04
紫外光刻机MDA-400M
2017-05-04
磁控溅射台(JS4S-80D)
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管式退火炉 (GSL-1100X)
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磁控溅射台(SKE102011)
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